성분분석특정성분분석TMAH 분석

TMAH 분석

유기/무기 소재의 측정, 시험, 분석, 연구개발에 관한 업무를 성심껏 도와 드릴것을 약속합니다.

TMAH(Tetramethyl ammonium hydroxide)는 강염기성 유기물이며, 실리콘의 에칭제(부식용제)로 사용(반도체 제조 공정에서 표면 처리)하고 독성이 강하고 물에 잘 녹는 특징을 가지고 있습니다. THAM 함량은 적정분석으로 가능하나, 한국고분자시험연구소㈜에서는 이온크로마토그래피(IC, Ion Chromatography)를 이용하여 분석을 진행합니다. IC장비로 TMAH의 이온를 분석하여 TMAH함량을 구합니다. 제일 먼저 "상담•분석신청서"를 작성하여 polymer@polymer.co.kr 혹은 팩스(02-963-2587)로 보내주시면, 담당연구원으로부터 빠르고 정확한 답변을 받아보실 수 있습니다.

분석 및 상담문의
Tel.1588-1574   Fax.02-963-2587
E-mail : polymer@polymer.co.kr

TMAH의 Chromatogram

TMAH의 Chromatogram

TMAH의 검량선

TMAH의 검량선

TMAH의 이온화

TMAH의 이온화

IC분석 결과정리 (TMAH함량)

분석항목 단위 분석방법 검출한계
TMAH함량 % IC 0.01